技術(shù)編號：6798284
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種能大面積制備鋰離子固體電解質(zhì)薄膜的方法，具體為一種制備氮化Li3PO4(簡稱鋰磷氧氮)薄膜的方法，所制備的薄膜能應(yīng)用于全固態(tài)薄膜鋰離子電池的制備。鋰磷氧氮薄膜的制備方法已有不少報道，一般通過射頻磁控濺射Li3PO4靶，在N2或He+N2環(huán)境下通過反應(yīng)性沉積鋰磷氧氮薄膜。另外，也有人采用熱蒸發(fā)與離子束輔助(IBDA)結(jié)合的技術(shù)制備了鋰磷氧氮薄膜。但沉積效率差(沉積速率低與沉積面積小)，難以實際應(yīng)用。我們也曾公開報道了在氮氣氛下，脈沖激光沉積法制...
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