技術(shù)編號:6798841
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)器件的結(jié)構(gòu)。特別涉及一種具有兩個不同厚度氧化物柵區(qū)的金屬-氧化物-半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)?,F(xiàn)有金屬-氧化物-半導(dǎo)體器件都只有單一的均勻氧化層?xùn)艆^(qū)與單一金屬層?xùn)艠O,器件一旦制成,柵壓~溝道電導(dǎo)的線性特性就已固定,無法進行調(diào)節(jié)。這種情況對于某些應(yīng)用需求,特別是對于在寬廣范圍內(nèi)實現(xiàn)電壓-電導(dǎo)轉(zhuǎn)換功能的應(yīng)用需求不能適應(yīng)。為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,本實用新型在同一金屬-氧化物-半導(dǎo)體器件中設(shè)置兩個不同厚度的氧化物柵區(qū),以及在...
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