技術(shù)編號：6798963
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于高壓半導(dǎo)體硅管(包括高壓硅二極管、高壓硅晶體管、高壓硅晶閘管)及其制造方法的發(fā)明。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件。現(xiàn)有的高壓半導(dǎo)體硅管一般是在具有雙層結(jié)構(gòu)的硅單晶襯底上制成的，上層為高阻層，起支撐電壓的作用;下層是低阻層，起減小導(dǎo)通電阻的作用。管芯制作在高阻層上。低阻層的導(dǎo)電類型與高阻層的導(dǎo)電類型可以是同型的，也可以是反型的。同型的雙層襯底結(jié)構(gòu)為N-/N+，P-/P+形式;反型的雙層襯底結(jié)構(gòu)為N-/P+，P-/N+形式。低阻層可以是單層的，也可以是雙層的...
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