技術(shù)編號(hào)：6806111
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在構(gòu)成用于制造半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置或半導(dǎo)體裝置的裝置的配管系統(tǒng)中所使用的關(guān)閉閥，特別涉及一種在以供給液體材料為目的的配管系統(tǒng)中所使用、并且能夠有效地進(jìn)行閥內(nèi)部的洗滌和清洗的向氣化器供給原料溶液的系統(tǒng)。背景技術(shù) 近年來(lái)，對(duì)于使用例如FeRAM(Ferroelectric-Random-Access-Memory鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)這樣的電容器的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置或半導(dǎo)體裝置，以更高的電容器的高集成化為目的，來(lái)探討研究電容率更高的介質(zhì)材料PZT[(Pb，Z...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。