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      Fe-M-C系磁性膜及其制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6806826

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      本發(fā)明涉及,這種磁性膜被用于例如VTR和磁盤裝置等的磁頭材料、裝于集成電路內(nèi)的超微型電感磁芯材料,還用于超微型馬達的磁極材料等。眾所周知,磁性膜用濺射等薄膜形成技術(shù)來制作,它用于VTR用錄放磁頭、磁盤用錄放磁頭等各種信息機器領(lǐng)域。近年來,磁記錄領(lǐng)域的高密度化顯著,在高保持力的記錄載體上可以充分進行記錄,這就希望開發(fā)出具有高飽和磁通密度的磁頭用的磁性膜。而且,從記錄信號重放的觀點來看,希望磁性膜的導(dǎo)磁率高且磁致伸縮趨于零值。另一方面,從磁頭的制造工藝來看,希...
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