技術(shù)編號：6809046
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用激光照射半導(dǎo)體，使其受到各種熱處理的技術(shù)。迄今，對于用激光照射半導(dǎo)體，使其受到各種熱處理的技術(shù)是人們所周知的。例如，下列技術(shù)都是已知的；采用激光照射非晶硅膜片，將在一玻璃基片上由等離子體CVD形成的一種非晶硅膜片(a-Si膜片)轉(zhuǎn)換為一種晶狀硅膜片的技術(shù)；以及在經(jīng)雜質(zhì)離子摻雜后的一種熱處理技術(shù)，等等。例如，在由本發(fā)明申請人申請的日本未審專利申請No.Hei 6-51238中所描述的一種技術(shù)，就是使用激光的各種熱處理技術(shù)以及激光照射設(shè)備。由于各種...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。