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      光照射裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6809184

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      本發(fā)明涉及一種有用的光照射裝置,可應(yīng)用于例如使用在多晶硅薄膜晶體管等的制造的激光退火裝置等。本申請(qǐng)基于2002年11月5日在日本國(guó)提出的日本專(zhuān)利申請(qǐng)2002-321704號(hào),要求享有優(yōu)先權(quán),在此通過(guò)參照引用其內(nèi)容。背景技術(shù) 近年來(lái),液晶顯示器等薄膜晶體管的溝道層中開(kāi)始使用載流子移動(dòng)性高的多晶硅膜。薄膜晶體管的溝道層中使用的多晶硅膜通常是通過(guò)以激光照射玻璃襯底上的非晶硅進(jìn)行熱處理制造而成。依照此種方式,通過(guò)激光照射對(duì)物質(zhì)進(jìn)行熱處理的方法稱(chēng)為激光退火處理,執(zhí)行...
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