技術(shù)編號(hào)：6809434
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在具有絕緣表面的襯底上形成結(jié)晶形硅薄膜的技術(shù)。近年來，采用在玻璃襯底上形成硅薄膜而制造薄膜晶體管的技術(shù)已經(jīng)公知。尤其是，把這些薄膜晶體管用于有源矩陣型液晶顯示器件的技術(shù)特別引人注意。這些液晶顯示器件配置成矩陣，每個(gè)圖素配置了薄膜晶體管，作為開關(guān)元件，借助薄膜晶體管控制各象素中所保持的電荷。這些有源矩陣形液晶顯示器件在顯示動(dòng)態(tài)圖象和彩色圖象方面比簡(jiǎn)單的矩陣型液晶器示器件優(yōu)越。目前，要在玻璃襯底上形成薄膜晶體管的主流是采用無定形硅膜。由于依照通常在大...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。