技術(shù)編號：6810473
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將全氟酮用作活性氣體，除去氣相反應(yīng)器中積累的不需要的沉積物、蝕刻氣相反應(yīng)器中的介電或金屬材料以及在氣相反應(yīng)器中摻雜各種材料的方法。背景技術(shù)全球變暖京都?xì)怏w的排放受到了全世界的關(guān)注。在聯(lián)合國有關(guān)全球變暖會議上制定的Kyoto協(xié)議，其目標(biāo)就是降低二氧化碳、甲烷、一氧化二氮、全氟烴(PFC)、氫氟烴(HFC)以及SF6的排放使其達(dá)到1990年之前的水平。另外，美國大部分半導(dǎo)體生產(chǎn)商已經(jīng)與環(huán)境保護(hù)局簽訂了理解備忘錄，保證評估各種可選物質(zhì)來減少PFC的排放...
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