技術(shù)編號：68179
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導體材料測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)對導體、半導體和絕緣體等樣樣品的表面形貌進行微納米尺度的高精度成像，是原子力顯微鏡的基本功能。除此之外，借助在原子力顯微鏡懸臂探針表面沉積金屬等導電薄膜，還可以對樣品表面微納米尺度的微區(qū)電學和光學性質(zhì)進行如下的測試分析第一，導電原子力顯微鏡模式，在探針的金屬鍍膜和樣品之間加載偏壓，從而在探針和樣品表面相接觸時產(chǎn)生電流，通過測量這個電流和電壓的關(guān)系，可以得到半導體在微納米尺度的局域電導等電學性質(zhì);第二，當一束光照射在探針尖端附近，由于金屬表面等離激元震蕩...
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