技術(shù)編號：6819822
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶片的運輸載體，特別是關(guān)于一種存貯和運輸晶片的可密封的容器。多年來，在半導(dǎo)體制造行業(yè)廣泛采用稱為運輸箱的可密封的附件，來實現(xiàn)在各生產(chǎn)階段之間和／或各設(shè)施之間半導(dǎo)體晶片的存貯和運輸。眾所周知，半導(dǎo)體晶片特別容易受到污染物例如微粒的損害。因此，在半導(dǎo)體晶片被存貯和加工裝入電路的保潔室和其他環(huán)境條件下，為了消除污染物的損害需要采取特別的防護(hù)措施。目前一般采用SMIF(標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)械接合面)式箱來為200MM或更小尺寸的晶片提供清潔密封的微環(huán)境。這...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。