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      用于半導(dǎo)體熱處理器的基于模型的溫度控制器的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6822927

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      本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體處理方法和裝置,具體涉及主要用于對(duì)半導(dǎo)體處理中所用的熱反應(yīng)器和其它處理器的溫度以及可能有的其它處理變量進(jìn)行控制的處理控制器。由于目前全球集成電路的產(chǎn)量十分巨大且其應(yīng)用價(jià)值和作用也越來(lái)越顯著,隨之而來(lái)的便是半導(dǎo)體晶片處理技術(shù)在經(jīng)濟(jì)中所處的地位變得越來(lái)越重要。近年來(lái)由于由于競(jìng)爭(zhēng)的壓力使得其產(chǎn)品形式發(fā)生了巨大的變化。其中最主要的變化體現(xiàn)于形成于集成電路上用于構(gòu)成晶體管以及其它器件的各種集成電路特征尺寸變得越來(lái)越小。特征尺寸不斷減小的原因是為了...
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