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      帶氧化鋅層的基片、氧化鋅層的制造方法、光電器件以及光電器件的制造方法、的制作方法技術資料下載

      技術編號:6823581

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      本發(fā)明涉及例如用做如太陽能電池等的光電器件的一個部件的帶氧化鋅層的基片(下文通常稱做ZnO疊層基片),氧化鋅層的形成方法,光電器件以及光電器件的制造方法,特別涉及提供有氧化鋅層作為部分反射層用于提高太陽能電池的長波長靈敏度的基片及其形成方法。本申請的申請人已提出了一種通過濺射制成的金屬層和透明導電層的組合物,用做光電器件(太陽能電池)的反射層。在所述提議中,詳細地介紹了為抑制金屬層反射率的降低所用的金屬層的濺射條件,以便得到具有良好反射特性的反射層。然而,...
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