技術(shù)編號(hào)：6825291
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，該器件含有在絕緣襯底上形成的TFT(薄膜晶體管)，該襯底由玻璃或類似物組成。眾所周知，薄膜晶體管(下文稱TFT)使用薄膜半導(dǎo)體。通過在襯底上形成薄膜半導(dǎo)體和利用該薄膜半導(dǎo)體構(gòu)成這些TFTs。各種集成電路使用這些TFTs，但特別要注意，電光器件，尤其是有源矩陣型液晶顯示器中各象素的開關(guān)元件和外圍電路部分的驅(qū)動(dòng)元件，都使用TFTs。這些器件利用的TFTs通常使用薄膜硅半導(dǎo)體。薄膜硅半導(dǎo)體大體上分成兩種類型非晶硅半導(dǎo)體(α-Si)和結(jié)晶硅半導(dǎo)體。非晶...
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