技術(shù)編號(hào):6834599
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種廠房中所使用的定位套件與使用其的定位方法,特別是涉及一種用以對(duì)準(zhǔn)機(jī)器的加載端口(Load Port)與自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)(OverheadHoist Transport(OHT)System)的定位套件與使用其的定位方法。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制造廠等高科技業(yè)的廠房中,各階段工藝的半成品大多以自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)來(lái)運(yùn)送,以節(jié)省人力成本,并降低半成品因人為疏失而受損的可能性。自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)一般系架設(shè)在各機(jī)器的上方,其可將一或多個(gè)半成品由工藝已完成的機(jī)器上抓起...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。