技術(shù)編號：6835242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造中用的一種檢測裝置，特別涉及防止送/取晶片用的機械手碰撞晶片的檢測裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體器件制造過程中，半導(dǎo)體晶片要在各種處理室內(nèi)送入/取出。由于制造一個半導(dǎo)體器件需要在多個處理室內(nèi)對半導(dǎo)體晶片進行各種處理，半導(dǎo)體晶片在各個處理室內(nèi)的送/取都是用機械手完成的。機械手前端設(shè)置用于承載晶片的載片板，載片板的直徑小于要承載的晶片的直徑。用機械手送/取晶片時，機械手前端的載片板必須與要裝載的晶片平行，以免在送/取晶片的過程中由于機械手前端...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。