技術編號：6843316
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件，特別涉及一種激光器與光電開關集成的器件。國際上已有將垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)和其他光電器件如HPT、PNPN集成的報道(見文獻[1]R.S.Geels，S.W.Corzine，et al.，“Lowthreshold，planarized vertical-cavity surface-emitting lasers，”IEEEPhoton.Technol.Lett.，vol.2 pp.234-236，1990.[2]R.P....
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