技術(shù)編號：6843599
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅片熱處理夾具和硅片處理方法，尤其是涉及用于RTA等的合適的技術(shù)。本申請要求2003年3月31日申請的特愿2003-097365號的優(yōu)先權(quán)，將其內(nèi)容引用到這里。背景技術(shù) 以往，作為將硅片快速加熱之后再快速冷卻的熱處理裝置，周知的有以碘鎢燈作為熱源的快速加熱裝置(RTA)。為了在快速加熱裝置的爐內(nèi)將熱處理中的硅片的姿勢保持在水平狀態(tài)，例如，如專利文獻(xiàn)1的圖3(a)中所示那樣搭載有環(huán)狀的晶片夾100。又，如專利文獻(xiàn)2所示，由數(shù)個點(diǎn)支持的類型的晶片夾也...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。