技術(shù)編號：6845410
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基于鋁合金的鋁類靶材，尤其涉及具有大面積的大型鋁類靶材。背景技術(shù) 近年來，由鋁類靶材形成的鋁合金薄膜被用于構(gòu)成如液晶顯示器的薄膜晶體管等半導(dǎo)體元件時(shí)的配線形成。隨著近年來電子·電氣制品的需求增加，該鋁類靶材的需求有進(jìn)一步增加的趨勢。而且，半導(dǎo)體元件制造中，一次大量地制造具有非常精密的結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件的技術(shù)的進(jìn)步顯著。具體來說，使用具有非常大的面積的靶材進(jìn)行濺射、大面積地形成配線形成用的薄膜、一次制造大量的半導(dǎo)體元件的技術(shù)在不斷進(jìn)步?，F(xiàn)在，該半導(dǎo)體...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。