技術編號：6846519
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體處理的領域，更具體而言，本發(fā)明涉及半導體處理工具的易損部件的保護和處置。背景技術 在當前的半導體工業(yè)實踐中，半導體處理裝置的很多部件被看作易損部件，這或者由于部件上的磨損，或者由于過大薄膜沉積(film deposit)的建立，這種薄膜沉積會引發(fā)半導體晶片工藝的特定污染。半導體處理裝置中的易損部件的一個示例是放在真空容器窗內部的獨立窗插件。該獨立窗插件例如防止真空容器窗出現(xiàn)在不受保護的情況下可能建立在真空窗上的沉積。一旦該獨立窗插件的光學屬...
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