技術(shù)編號：6848470
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 某些器件對漏電有很高的要求，特別是低功耗(Low Power)的器件，而目前常用的器件隔離是淺溝道隔離，叫STI(shallow trench isolation)，通過STI研發(fā)時的實驗經(jīng)驗，可知STI邊角的圓滑程度和漏電有著極強的相關(guān)性，越是圓滑的邊角帶來更小的漏電。因而可以使STI邊角更加圓滑結(jié)，從而進(jìn)一步減少STI的漏電。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明方法除包括淺溝道隔離刻蝕、去膠、RCA清洗...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。