技術(shù)編號：6849662
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于形成常介電性或者強介電性Bi類電介質(zhì)薄膜的涂布液以及使用該涂布液形成的Bi類電介質(zhì)薄膜。本發(fā)明的涂布液能夠發(fā)揮常電介質(zhì)形成材料和強電介質(zhì)形成材料的性能，廣泛適用于利用熱電性、高介電性、強介電性的領(lǐng)域之中。特別是能根據(jù)半導(dǎo)體裝置要求的特性，廣泛用于單體的電容器(薄膜電容器)、DRAM及非揮發(fā)性存儲器的電容器等之中。背景技術(shù) 伴隨著對半導(dǎo)體存儲器的記憶容量增加的需求，開始研究在DRAM(Dynamic Random Access Memory)中...
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