技術(shù)編號(hào):6852139
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般性地涉及一種使用棱鏡測(cè)繪毛細(xì)工具尖端(capillarytool tip)位置的方法和裝置。更具體地,本發(fā)明涉及使用棱鏡例如直角棱鏡(cornercube prism)來解決由于該毛細(xì)工具尖端在不同的Z高度處位置(例如X和Y位置)偏差引起的接合位置的誤差。背景技術(shù) 電子組件例如集成電路芯片的制造通常要在不同制造工藝階段對(duì)設(shè)備進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)檢查。這種對(duì)準(zhǔn)檢查步驟往往利用圖像系統(tǒng)(visionsystem)或者圖像處理系統(tǒng)(例如捕獲圖像、使之?dāng)?shù)字化并且使用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。