技術(shù)編號：6852877
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明，涉及一種半導(dǎo)體裝置，特別是涉及一種包含異質(zhì)結(jié)(heterojunction)雙極晶體管的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 攜帶電話、PDA、DVC以及DSC之類的便攜式電子機器的功能越來越多。市場上，需要小型且質(zhì)輕的產(chǎn)品。與此要求對應(yīng)，就要求高集成的系統(tǒng)LSI。實現(xiàn)高集成系統(tǒng)LSI的模塊的一例，為高頻雙極晶體管。作為以提高高頻雙極晶體管的高性能化為目標(biāo)的結(jié)構(gòu)的一例，為具有由硅鍺(SiGe)合金構(gòu)成的基極層的、異質(zhì)結(jié)雙極晶體管。特開平4-179235號公報，公開...
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