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      開關(guān)線型移相器的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6855316

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      本發(fā)明涉及一種微機(jī)電的器件,具體的說,是涉及一種開關(guān)線型移相器。背景技術(shù)微波移相器是通訊和雷達(dá)技術(shù)上的重要元件,基本類型主要有開關(guān)線型、加載線型和反射型等,其中開關(guān)線型是最簡單的結(jié)構(gòu)形式,它是利用開關(guān)選擇不同的傳輸路徑,利用不同傳輸路徑的電長度不同來產(chǎn)生相移的。為了進(jìn)一步提高移相器的性能,在微機(jī)械加工技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)上,人們采MEMS開關(guān)替代傳統(tǒng)形式的開關(guān),設(shè)計(jì)出了很多種新型的開關(guān)線型移相器,其中大多數(shù)設(shè)計(jì)都是采用微帶線作為傳輸路徑的,也有采用普通共面波導(dǎo)傳...
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