技術編號:6856508
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般涉及靜電放電保護(ESD),更具體地說,涉及一種用于ESD電路中的改良的晶體管。這種改良的晶體管當在不直接涉及ESD保護的電路系統(tǒng)中使用時,還能提供更為耐用的ESD性能。背景技術 對于采用LOCOS(硅局域氧化),淺或深的溝槽隔離和其它方法來限定有源極器件區(qū)域的工藝中,會在隔離邊緣處出現缺陷。正如把LOCOS隔離用作示例的圖1中所示,襯底10具有一層用氧化層12與襯底10的表面分隔開的氮化物掩膜14。襯底10處在氧化的氣氛中,且在氧化層12暴露的...
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