技術(shù)編號：6858825
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種晶片定位裝置，特別地涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)。背景技術(shù)離子注入機(jī)是半導(dǎo)體工藝中離子摻雜的典型設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，離子束再經(jīng)過質(zhì)量分析、校正、加速，傳輸?shù)教幱诮K端處理腔體的晶片表面，而將晶片從片庫轉(zhuǎn)移到終端處理腔體的晶片臺上需要利用晶片傳輸機(jī)械手，在傳輸過程中需要知道晶片的切口或切邊的正確方位，因此需要對晶片進(jìn)行定位處理，定位的可靠性及精度影響到工藝的合格率，定位的效率影響晶片的傳輸效率。因此，在保證晶片定位的精確的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。