技術(shù)編號：6861159
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種機電系統(tǒng)，具體地說，涉及一種機電系統(tǒng)和操作所述機電系統(tǒng)的方法。研制出了微型機電系統(tǒng)(MEMS)，作為常規(guī)的機電裝置例如繼電器、致動器、閥門和檢測器的替代物。由于使用微電子制造技術(shù)，MEMS裝置是一種低成本的裝置。因為MEMS裝置可以比常規(guī)的機電裝置小得多，所以還可以提供新的功能。MEMS技術(shù)的許多應(yīng)用使用MEMS致動器。這些致動器可以使用一個或幾個在一端或兩端固定的橫梁。這些致動器可以使用靜電、磁、熱與/或其它形式的能量被致動。在MEMS致動...
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