技術(shù)編號：6865792
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于制造母盤(original master)的射束描繪裝置，特別是涉及用于呈同心圓狀描繪圓的電子束描繪裝置。背景技術(shù) 磁盤或硬盤(HDHard Disk)用于個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)的存儲裝置、移動(dòng)設(shè)備、車載設(shè)備等。近年來，其用途也進(jìn)一步顯著擴(kuò)大，并且面記錄密度也急速提高。為了制造該高記錄密度硬盤，廣泛研究了電子束母盤制作(mastering)技術(shù)。在電子束描繪曝光裝置中，從電子槍射出且由電子透鏡會聚的電子束點(diǎn)被照射到涂布了抗蝕劑的基板上。該電子束點(diǎn)...
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