技術(shù)編號(hào):6868421
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于在基片上形成電子元件的陰影掩膜,更具體地講,涉及一種用于真空沉積處理的多層陰影掩膜結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 有源矩陣底板廣泛使用在平板顯示器中,用于將信號(hào)發(fā)送到顯示器的像素從而產(chǎn)生看得見(jiàn)的畫(huà)面。目前,經(jīng)由光刻(photolithography)制造處理來(lái)形成平板顯示器的這些有源矩陣底板,在市場(chǎng)中對(duì)越來(lái)越高的分辨率顯示器的需要推動(dòng)該光刻制造處理,而使用其它制造處理不能夠形成這樣的顯示器。光刻是一種圖案形成技術(shù),該技術(shù)使用諸如紫外線(UV)輻射技術(shù)的電...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。