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      LiCoO的制作方法技術資料下載

      技術編號:6868569

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      相關申請本發(fā)明要求下列臨時申請的優(yōu)先權2005年2月8日由Hongmei Zhang和Richard E.Demaray提交的臨時申請60/651,363;和2004年12月8日由相同的發(fā)明人提交的臨時申請60/634,818,每一份臨時申請的全部內(nèi)容都通過引用結合在此。 發(fā)明背景技術 領域本發(fā)明涉及薄膜固態(tài)電池,具體而言,涉及用于電池制造的LiCoO2膜和層的沉積。相關技術的論述固態(tài)薄膜電池典型地通過將薄膜層疊在襯底上使得所述膜協(xié)同產(chǎn)生電壓而形成。所述薄...
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