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      包括流體存儲(chǔ)和分配容器的動(dòng)態(tài)流體監(jiān)測(cè)的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6868721

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      本發(fā)明涉及包括流體存儲(chǔ)和分配容器的存量的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)過(guò)程 的流體存儲(chǔ)和分配系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,包括例如離子注入機(jī)、化學(xué)氣相淀積、旋 轉(zhuǎn)覆蓋、蝕刻、處理腔室的清潔、廢水處理等,通常利用具有#>大 變化特性的專用流體試劑。由于這種流體試劑的高成本、顯著的毒性、和極高的純度要求, 各種專用源容器和密封裝置在半導(dǎo)體加工設(shè)備中已經(jīng)得到普遍的 使用。在一些實(shí)例中,在這種服務(wù)中已經(jīng)取代傳統(tǒng)氣體圓柱體的這 些特殊流體供應(yīng)裝置配備有各種流體監(jiān)測(cè)和控制設(shè)備。這種...
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