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      氧化物材料、其制造方法以及使用該氧化物材料的半導(dǎo)體元件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6869779

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      本發(fā)明涉及氧化物材料、其制造方法以及使用該氧化物材料的半導(dǎo)體元件,詳細(xì)涉及可用于作為非易失性存儲(chǔ)器的強(qiáng)電介質(zhì)存儲(chǔ)器的氧化物材料、該氧化物材料的制造方法以及使用該材料的元件。背景技術(shù) 近年來,隨著移動(dòng)電話、筆記本電腦、掌上電腦等便攜式終端的發(fā)展,強(qiáng)電介質(zhì)存儲(chǔ)器正受到關(guān)注。強(qiáng)電介質(zhì)存儲(chǔ)器能夠使書寫輸入速度加快、實(shí)現(xiàn)大容量,所以對(duì)能夠同時(shí)處理含有影像、聲音等大量數(shù)據(jù)的大型媒體器材特別有用,并且存儲(chǔ)數(shù)據(jù)不需電力,因而可以實(shí)現(xiàn)低耗電。強(qiáng)電介質(zhì)存儲(chǔ)器是利用強(qiáng)電介質(zhì)的極...
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