技術編號：6871062
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于進行熱退火工藝的半導體生產設備的真空檢測 裝置。背景技術如圖1所示，目前進行熱退火工藝的半導體生產設備，以美國Metron 公司生產的Hp8800為例，其工藝要求在純N2的條件下進行硅片表面的熱 退火，而工藝腔體的門開關是由氣缸控制，然后通過檢測門上雙密封圈 11間的真空度來確認該門是否密封，雙密封圈的真空原來是通過一個真 空泵來抽的，由于真空泵12是一個易損壞部件，因此這種真空檢測裝置 的故障率高，穩(wěn)定性差，影響了設備的生產效率。發(fā)明內...
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