技術(shù)編號：6872220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對被處理基板進(jìn)行蝕刻處理的等離子體處理裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體裝置或者平板顯示器(FPDFlat Panel Display)等的制造過程中，為了在半導(dǎo)體晶片或玻璃基板(LCD基板)等被處理基板上進(jìn)行蝕刻處理，而使用等離子體蝕刻裝置等的等離子體處理裝置。在這種等離子體處理裝置中，如圖6所示，處理裝置101是對LCD玻璃基板進(jìn)行規(guī)定處理的裝置，在此，以容量結(jié)合型平行平板等離子體蝕刻裝置作為構(gòu)成例。該等離子體蝕刻裝置101具有例如鋁制的形成角筒形...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。