技術(shù)編號：6874706
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種薄膜晶體管的制作方法，尤指一種適用于。背景技術(shù) 薄膜晶體管液晶顯示器主要由薄膜晶體管陣列基板、彩色濾光片陣列基板、以及液晶層所構(gòu)成，其中薄膜晶體管陣列基板是由多個陣列排列的薄膜晶體管以及與每一薄膜晶體管對應(yīng)配置的一像素電極所構(gòu)成的多個像素結(jié)構(gòu)。公知常采用六道或五道光罩制程制作薄膜晶體管陣列基板，且制作流程一般依序?yàn)槎x閘極、主動區(qū)域、源極與漏極、連接墊開口區(qū)、以及像素區(qū)等元件。由于制作過程冗長且復(fù)雜，不僅成本昂貴，并且容易引發(fā)制程缺陷等問題...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。