技術(shù)編號：6877181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備，尤其涉及一種硅片傳輸系統(tǒng)的傳輸腔室。 背錄技術(shù)在半導(dǎo)體硅片加工集群設(shè)備的硅片傳輸系統(tǒng)中，傳輸腔室有各種各樣的結(jié)構(gòu)。如圖l 所示，是一種普遍采用的傳輸腔室的結(jié)構(gòu)圖。腔室上表面開有燕尾槽，其作用是放置密封 圈，然后便可把用于密封的腔室上蓋放置在密封圉上，使傳輸腔室內(nèi)部形成密閉的空問。 由于硅片的制程要求硅片表面保持高度潔凈，并且要求在髙真空的環(huán)境下加工硅片，所以 傳輸腔室內(nèi)部也要保持真空狀態(tài)，這樣就要求傳輸腔室與其上蓋之間要有...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。