技術(shù)編號：6884072
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是有關(guān) 一 種掩膜盒以及掩膜傳送盒，特別是指其中可防止靜電放電破壞的掩膜盒以及傳送 合背景技術(shù)近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學光刻技術(shù)(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是關(guān)于 圖形(pattern)定義，皆需仰賴光學光刻技術(shù)。光學光刻技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計好的 線路制作成具有特定形狀可透光的掩膜(photo mask)。 利用曝光原理，則光源通過掩膜投影至硅晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。...
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