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      用于輻射檢測的半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6886471

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      用于輻射檢測的半導(dǎo)體器件本發(fā)明涉及一種用于輻射檢測的半導(dǎo)體器件。在本領(lǐng)域中用于檢測電磁輻射的半導(dǎo)體基器件或傳感器是己知的。這些傳感器是采用IC (集成電路)技術(shù),如MOS (金屬氧化物半導(dǎo)體)、CMOS (互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)或CCD (帶電耦合器件)技術(shù),并利用所謂的集 電結(jié)而在襯底上實現(xiàn)的,其中所述集電結(jié)是適于收集由于電磁輻射而在襯 底中產(chǎn)生的電荷載流子的區(qū)域,并且是pn-或叩-結(jié)。為了檢測電離輻射,如X射線,可以施加閃爍材料,其中電離(X射線) 輻...
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