技術(shù)編號：6889016
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使研磨帶與研磨對象物相抵接、利用兩者的相對運(yùn)動來研 磨該研磨對象物的研磨裝置及研磨方法，尤其涉及適用于研磨半導(dǎo)體晶片 等基板的周緣部的研磨裝置、研磨方法，以及使用了該研磨裝置的處理裝 置。背景技術(shù)以往，作為這種研磨裝置有具備研磨帶供給巻軸機(jī)構(gòu)、研磨頭和研磨 帶回收巻軸機(jī)構(gòu)，并且具有經(jīng)過研磨頭將從研磨帶供給巻軸提供來的研磨 帶回收到研磨帶回收巻軸機(jī)構(gòu)上的研磨帶供給/回收機(jī)構(gòu)，使經(jīng)過研磨頭的 研磨帶與半導(dǎo)體晶片等研磨對象物的周緣部相抵接，利用該研磨帶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。