技術(shù)編號：6894447
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及超高分辨率成像裝置，包括使用光或其它類型的電磁波進行高分辨率光刻，比如說，用于半導(dǎo)體或微芯片制造的裝置。本發(fā)明涉及超高數(shù)值孔徑成像系統(tǒng)與適當配置的反射鏡和其它相關(guān)元件的組合，導(dǎo)致該裝置的光波方程的邊界條件更加接近于產(chǎn)生麥克斯韋方程的爆聚偶極解所需的條件。本發(fā)明還提供一種使用兩個適當形狀的反射鏡的超高數(shù)值孔徑成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一種除了傳統(tǒng)上有關(guān)超高分辨率的應(yīng)用以外，還具有其它潛在用途的相當簡單的結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明中，“超高分辨率”意味著具有比瑞利分辨率...
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