技術編號：6901231
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及SOI ( Silicon On Insulator;絕緣體上硅)襯底及其 制造方法。此外，涉及使用SOI襯底制造的半導體裝置。在本說明書沖，半導體裝置指的是能夠通過利用半導體特性而工 作的所有裝置，電光學裝置(包括EL顯示裝置、液晶顯示裝置)、 半導體電路及電子設備全部包括在內。背景技術隨著VLSI技術的發(fā)展，要求超過使用塊狀單晶硅的控制半導體 裝置的特性的比例定律的低耗電量化及高速化。為了滿足這些要求， 近年來SOI結構受到關注。這個技術是在...
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