技術編號：6917392
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種集成電路(Integrated Circiut；IC)的制造方法，特別是涉及一種電容器(Capacitor)的連線結構(Interconnection Structure)的制造方法。電感(Inductor)與電容器是射頻元件(RF Device)中的振蕩電路(Oscillation Circuit)的主要元件。在一般的振蕩電路中，電容器采用金屬-絕緣層-金屬(MIMMetal-Insulator-Metal)的堆疊結構，其中包括金屬下電極板...
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