技術編號：6920200
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明通常涉及一種制造系統(tǒng)，更具體地說，本發(fā)明涉及一種改進的方法和設備，用于將晶片載體加載到工具上和將晶片載體從工具上卸載。典型的是，通過一種升高的或高架的加載站在一個儲存緩存區(qū)域內接收晶片載體，該加載站從一種懸吊運輸機械接收晶片載體。此后存儲緩存區(qū)域機器人將晶片載體從高架的加載站上輸送到另一個儲存貨架上或輸送給一個制造工具加載站或輸送到一種普通的與一個懸吊運輸機械交換晶片載體的SEMI標準E15加載站。為了將來自懸吊運輸機械的晶片載體降低到一高架的加載站...
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