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      邊緣接觸型垂直碳納米管晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6925564

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及其制造,更具體而言涉及碳納米管晶體管技術(shù)。 背景技術(shù)晶體管和電子電路的發(fā)展以及通過(guò)集成電路技術(shù)對(duì)它們進(jìn)行的微型化已經(jīng)使得 信息和電子商務(wù)的時(shí)代成為了可能。集成電路有時(shí)被稱為“芯片”。大量的晶體管被用于構(gòu) 建電子電路和集成電路。現(xiàn)代的微處理器集成電路具有超過(guò)5千萬(wàn)個(gè)晶體管,并且在將來(lái) 將具有超過(guò)10億個(gè)晶體管。一些類型的電路包括數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)、放大器、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器 (DRAM)、靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(SRAM)、可擦除可編...
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