技術編號：6925594
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。斜面蝕刻工藝之后的銅脫色防止交叉引用本申請依照35U. S. C. 119 要求對名稱為 “C0PPERDISC0L0RATI0N PREVENTION FOLLOWING BEVEL ETCHPR0CESS，，，申請日為 2008 年 12 月 27 日的美國臨時申請61/009，142 的優(yōu)先權，其全部內(nèi)容通過引用并入此處。發(fā)明內(nèi)容提供一種在斜面蝕刻機中用含氟等離子體斜面邊緣蝕刻具有暴露銅表面的半導 體襯底的方法，該半導體襯底被支撐在該斜面蝕刻機中的半...
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