技術(shù)編號:6928091
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。-本發(fā)明涉及一種硅制高壓功率金屬氧化物半導(dǎo)體器件,更準確的講,涉及 一種硅制高壓超結(jié)縱向雙擴散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(super junction VDMOS,即超結(jié)VDMOS,以下均簡寫為超結(jié)VDMOS)。背景技術(shù)-目前,功率器件在日常生活、生產(chǎn)等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛,特別是功率 金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,由于它們擁有較快的開關(guān)速度、較小的驅(qū)動電 流、較寬的安全工作區(qū),因此受到了眾多研究者們的青睞。如今,功率器件正向 著提高工作電壓、增大工作電...
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