技術(shù)編號：6929322
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及照射激光的方法、用來照射激光的激光照射系統(tǒng)(包括激光器和用來使激光從激光器輸出到被照對象(要經(jīng)受照射的對象)的光學系統(tǒng))以及用其制造半導體器件的方法。背景技術(shù) 近來，已經(jīng)廣泛地研究了使形成在諸如玻璃這樣的絕緣基板上的非晶半導體膜結(jié)晶的技術(shù)，以便形成具有結(jié)晶結(jié)構(gòu)的半導體膜(下文中，稱作結(jié)晶半導體膜)。為了結(jié)晶，已經(jīng)試驗了退火，諸如用爐內(nèi)退火的加溫退火、快速加溫退火(RTA)或者激光退火。在結(jié)晶中，有可能利用上述一種退火或者組合多種類型的退火。與非晶...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。