技術(shù)編號：6938363
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造裝置中供給氣體狀CVD原料的。再詳細(xì)說涉及以極高的精度地控制液體CVD原料的流量，氣化供給在半導(dǎo)體制造裝置中，以極高精度的膜厚制造半導(dǎo)體薄膜的。背景技術(shù) 近年來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件向高性能化、高集成化前進(jìn)，作為金屬膜和絕緣膜的原料，使用了各種液體的有機(jī)金屬化合物代替以往使用的氫化物氣體或鹵化物氣體。例如，在半導(dǎo)體器件的金屬膜中，作為鋁膜的CVD原料使用二甲基鋁氫化物(Al(CH3)2H)、作為銅膜的CVD原料使用六氟乙酰...
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