技術(shù)編號(hào):6944202
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種梳狀源極層疊結(jié)構(gòu)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管,屬于微電子器件。本 發(fā)明可應(yīng)用于低閾值電壓有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的制造。2.背景技術(shù)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管由于其成本低,質(zhì)量輕、制備工藝簡(jiǎn)單,可實(shí)現(xiàn)大面積柔性制造等優(yōu) 點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域中。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的尺寸也在逐漸減 小。但其仍然沿用傳統(tǒng)的無(wú)機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)和工藝。由于光刻等工藝的限制,當(dāng)器 件尺寸達(dá)到一定程度時(shí),器件的溝道長(zhǎng)度將由于制造設(shè)備的原因而無(wú)法進(jìn)一步縮小,從而 使得有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的尺寸也...
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